功能特點

◆ 自動4、6寸ICP晶圓入料

◆ 具有自動螺絲鎖附功能

◆ 具有生產完成報知功能

◆ 具有自動補片功能

◆ CCD影像定位尋邊

◆ 可對應370/380mm外徑料盤